Mikrosystemtechnik

Die Mikrosystemtechnik ist ein sich stark entwickelndes Wissenschaftsgebiet, das sich mit der Entwicklung, Produktion und Anwendung von miniaturisierten Systemen beschäftigt. Diese finden Anwendung in Bereichen wie Umweltanalytik, Medizintechnik, Biotechnologie, Optoelektronik, Automobiltechnik und Kommunikationstechnik. Kaum eine technische Innovation kommt heute ohne Mikrosystemtechnik aus, wobei unterschiedlichste Materialien, Technologien und Funktionen auf kleinster Fläche vereint werden.

Miniaturisierte Systeme bilden die Basis für Neuentwicklungen. Die Arbeitsgruppe Mikrosystemtechnik forscht an vielen spannenden Projekten, auch in internationaler Zusammenarbeit. Besondere Expertise liegt in der Herstellung mikrofluidischer sowie mikroelektrischer Strukturen. Eigene Labore und ein Reinraum bieten eine breite Auswahl an Fertigungsmöglichkeiten im Mikrometerbereich. Neben verschiedenen Herstellungsverfahren wird besonders häufig das ESCARGOT-Verfahren eingesetzt.

Die Labore gliedern sich in folgende Bereiche:

• Reinraumbereich:






• Dünnschichtlabor zur Herstellung dünner Schichten mittels PVD und CVD




• Lithographielabor zur Strukturierung/Vermessung von Mikrosystemen






• Graubereich:






• Backend-Labor für Werkstoffe, Messtechnik, Aufbau- und Verbindungstechnik




• Chemielabor für chemische Prozesse in der Mikrosystemtechnik






• Optiklabor:






• Labor mit Rasterelektronenmikroskop, Nanofokus Konfokalmikroskop und diversen Lichtmikroskopen






• Batterielabor:






• Labor zum Aufbau und Testen von Batteriezellen und Elektroden