Mikrosystemtechnik Dual

Die Mikrosystemtechnik ist ein sich stark entwickelndes Wissenschaftsgebiet, das sich mit der Entwicklung, Produktion und Anwendung von miniaturisierten Systemen beschäftigt. Diese finden Anwendung in Bereichen wie Umweltanalytik, Medizintechnik, Biotechnologie, Optoelektronik, Automobiltechnik und Kommunikationstechnik. Kaum eine technische Innovation kommt heute noch ohne Mikrosystemtechnologie aus, wobei unterschiedlichste Materialien, Technologien und Funktionen auf kleinster Fläche vereint werden.

Miniaturisierte Systeme bilden die Basis für Neuentwicklungen. Die Arbeitsgruppe Mikrosystemtechnik forscht an vielen spannenden Projekten, auch in internationaler Zusammenarbeit. Besondere Expertise liegt in der Herstellung mikrofluidischer sowie mikroelektrischer Strukturen. Eigene Labore und ein Reinraum bieten eine breite Auswahl an Fertigungsmöglichkeiten im Mikrometerbereich. Neben verschiedensten Herstellungsverfahren wird besonders häufig das ESCARGOT-Verfahren eingesetzt.

Die Labore gliedern sich in:

• Dünnschichtlabor: Herstellung dünner Schichten mittels PVD und CVD




• Lithographielabor: Strukturierung/Vermessung von Mikrosystemen




• Backend-Labor: Labor für Werkstoffe, Messtechnik, Aufbau- und Verbindungstechnik




• Chemielabor: Labor für chemische Prozesse in der Mikrosystemtechnik




• Optiklabor: Ausgestattet mit Rasterelektronenmikroskop, Nanofokus Konfokalmikroskop und diversen Lichtmikroskopen




• Batterielabor: Zum Aufbau und Testen von Batteriezellen und Elektroden