Der Masterstudiengang Mikrosysteme und Mikroelektronik an der TU Chemnitz richtet sich an Studierende, die ihr Wissen im Bereich der Mikroelektronik oder Mikrosystemtechnik vertiefen möchten. Angesprochen sind Absolventen des Bachelorstudiengangs Elektrotechnik und Informationstechnik der TU Chemnitz sowie Absolventen vergleichbarer Studiengänge. Eine Besonderheit ist, dass einige Lehrveranstaltungen wahlweise in englischer Sprache angeboten werden, um die internationale Fachkommunikation zu fördern.
Das Studium zielt auf die Ausbildung qualifizierter Ingenieurwissenschaftler auf dem Niveau eines Master of Science (M.Sc.) ab. Es beginnt mit einer umfassenden Wissenserweiterung in den Kernbereichen Mikrosystemtechnik und Mikroelektronik, ergänzt durch Inhalte aus Materialwissenschaften, Fertigungstechnik sowie Steuerungs- und Regelungstechnik. Im weiteren Verlauf des Studiums spezialisieren sich die Studierenden entweder auf Mikro- und Nanoelektronik oder auf Mikrosystem- und Gerätetechnik. Es bestehen zudem Ergänzungsmöglichkeiten durch technisch orientierte Lehrveranstaltungen zu angrenzenden Gebieten wie Medizintechnik oder Mikrofluidtechnik.
Im Rahmen der Ausbildung können sich die Studierenden in den Reinräumen des Zentrums für Mikrotechnologien (ZfM) oder den Laboreinrichtungen der Fraunhofer Einrichtung für Elektronische Nanosysteme (ENAS) an Forschung und Prototyp-Entwicklungen beteiligen. Kooperationspartner sind neben deutschen und internationalen Firmen auch Start-Up-Unternehmen des Chemnitzer Smart Systems Campus.
Das Studium besteht aus Pflicht- und Wahlmodulen sowie einer Projektarbeit und der Masterarbeit. Nach vier Semestern sollen mindestens 120 Leistungspunkte (ECTS) erreicht werden. Im ersten Semester werden in Grundlagenmodulen wie Mikrosystementwurf, Intelligente Sensorsysteme, Zuverlässigkeit von Mikro- und Nanosystemen, Bauelemente der Mikro- und Nanotechnik und Technologien für Mikro- und Nanosysteme die notwendigen Basiskenntnisse vermittelt. Ab dem zweiten Semester erfolgt die Spezialisierung in Mikro- und Nanoelektronik oder Mikrosystem- und Gerätetechnik.
Im Berufsfeld Mikro- und Nanoelektronik stehen Wahlmodule wie Advanced integrated circuit technology, Materials in micro and nano technologies, Lithografie für Nanosysteme, Integrierte analoge Schaltungstechnik, Schaltkreisentwurf, Integrierte Schaltungstechnik und Sensor-Signalauswertung zur Verfügung. Im Berufsfeld Mikrosystem- und Gerätetechnik werden Wahlmodule wie Gerätetechnik, Mess- und Prüftechnik für Mikrosystemtechnik, Klein und Mikroantriebe, Technologien der Mikrofertigung, Angewandte Optik, Mehrgrößenregelung und Grundlagen der Medizin für Mikrosystemtechnik angeboten. Ergänzend gibt es technische Module zu Experimenteller Prozessanalyse, Nichtlinearen Systemen, Mikrofluidtechnik, HF-Technik und Photonik, Medizintechnik und Leistungselektronik sowie nichttechnische Module zu Kommunikation, Betriebswirtschaftslehre, Marketing, Kosten- und Erlösrechnung, Internationales Wirtschaftsrecht und Marketingmanagement.