Der Masterstudiengang Micro Systems and Nano Technologies richtet sich an Ingenieure und Naturwissenschaftler, die sich im Bereich der Mikrosystemtechnik und Nanotechnologie weiterqualifizieren möchten. Die Studierenden werden in einem wissenschaftlichen Umfeld mit Kooperationen mit in- und ausländischen Partnern ausgebildet. Ein Reinraum und Großgeräte stehen für Ausbildung sowie Forschung und Entwicklung zur Verfügung.
Bewerber mit einem ersten berufsqualifizierenden Abschluss (Bachelor oder Diplom) in einem ingenieur- oder naturwissenschaftlichen Studiengang der Mikrosystem- und Nanotechnologie mit einer Durchschnittsnote von 2,5 (gut) oder besser oder einer vergleichbaren Qualifikation sind zugelassen.
Bewerber, deren Muttersprache nicht Deutsch ist, müssen ausreichende Deutschkenntnisse nachweisen, um den deutschsprachigen Vorlesungen folgen zu können (mindestens C1 des GER, DSH 2, TestDaF 4 und 5 oder Oberstufenprüfungen an einem Goetheinstitut oder ein Studienabschluss in einem deutschsprachigen, anerkannten Studiengang). Außerdem müssen ausreichende Englischkenntnisse nachgewiesen werden (Niveau B1 des GER oder vergleichbare Nachweise wie TOEFL itb (57 Punkte), TOEIC (550 Punkte), IELTS oder Englisch als Fach im deutschen Abitur- oder Fachhochschulreifezeugnis mit mindestens 5 Punkten).
Absolventen haben aufgrund des Marktwachstums und der internationalen Verflechtung der Mikrosystemtechnik und der Nanotechnologie ausgezeichnete Berufsaussichten. Der Masterabschluss berechtigt zur Promotion und eröffnet den Zugang zum höheren Dienst.